2021-2026年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告
2021-10-07
- 【报告名称】：2021-2026年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告
- 【报告编号】：34379
- 【出版单位】：慧研纵横研究网
- 【关键字】： 电子特气 市场调研 研究报告
- 【出版日期】：2021-10-07
- 【交付方式】：EMAIL电子版或EMS特快专递
- 【价格】：电子版：8900元 纸介版：8900元
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【报告简介】：
电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是电子工业生产的基础关键原材料。工业气体产品可分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大、纯度略低；而特种气体则属于高技术、高附加值产品，对产品的质量要求较高。《战略性新兴产业分类（2018）》将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响。
电子特气全球产业链向国内转移，发展空间大。随着全球半导体产业链向国内转移，中国电子气体市场提速明显，远高于全球增速。中国电子特气2020年市场规模为150亿元，占全球比例约为48%，相较于2011年占比翻了一倍，2011-2020年中国市场规模复合增长率远高于全球数据。
半导体集成电路为主要细分领域。电子特气的应用方向为集成电路及器件领域、面板领域和太阳能及LED领域。根据2020年中国电子特气的应用市场结构，集成电路及器件领域占比最大，为44 2%。而半导体集成电路市场广阔，将带动电子特气在集成电路领域的应用市场规模进一步提升。2020年中国半导体集成电路销售额达8848亿元，同比增长率17%，远高于全球增长率8 4%。
政策推动电子特气实现国产替代。2017年，特种气体首次入选国家工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录（2017年版）》，共有3种特种气体入选；截止2019年，已有20个特种特气产品入选，且这些入选项目均应用于集成电路和新型显示行业。区域层面，2020年7月，河北省发展改革委印发《河北省炼化一体化及新材料产业链集群化发展三年行动计划（2020-2022年）》，提出到2025年，形成18000吨电子特种气体生产能力。
多重利好叠加，国产替代进程势不可挡。随着国内半导体厂商产能的逐步释放，叠加国家相关产业政策和资金支持，国内电子特气厂商竞争优势凸显，不断突破国外技术垄断，建立起完整的生产和供应体系。当前国内厂商的部分产品性能可比肩国际先进水平，达到了集成电路生产用电子气体的技术水平和工艺要求，并逐步实现了进口替代。国产替代进程势不可挡，特种气体国产化是未来行业发展的必然趋势。
《2021-2026年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告》共十一章。报告首先介绍了电子特气的相关定义、全球电子特气行业发展情况、以及电子特气发展背景和环境。接着分析了电子特气行业总体市场及细分市场的发展状况，然后对电子特气行业下游应用领域和国内外重点企业经营状况做了详实的解析，最后重点分析了电子特气行业投资状况和典型项目案例，并对电子特气行业的发展前景做出了科学的分析和预测。
【报告目录】：
第一章 电子特气行业概述
1.1 电子特气相关界定
1.1.1 电子特气的含义
1.1.2 电子特气的分类
1.1.3 电子特气的纯度
1.2 电子特气工艺分类
1.2.1 化学气相沉积工艺
1.2.2 光刻工艺
1.2.3 刻蚀工艺
1.2.4 掺杂工艺
1.3 电子特气工艺流程
1.3.1 气体纯化
1.3.2 气体合成
1.3.3 空气分离
1.3.4 气体充装
1.3.5 气体混配
1.3.6 气体检测
1.3.7 气瓶处理
第二章 2019-2021年全球电子特气行业发展综况
2.1 2019-2021年全球电子特气发展现状
2.1.1 市场发展规模
2.1.2 市场份额分布
2.1.3 企业竞争格局
2.1.4 企业营收情况
2.1.5 产业链条布局
2.1.6 应用领域分布
2.1.7 产品技术分析
2.2 2019-2021年美国电子特气发展分析
2.2.1 市场相关政策
2.2.2 市场主体介绍
2.2.3 企业布局动态
2.2.4 市场发展困境
2.3 2019-2021年日本电子特气发展分析
2.3.1 市场发展现状
2.3.2 市场需求分析
2.3.3 市场主体介绍
2.3.4 企业营收情况
2.3.5 企业布局动态
2.3.6 出口管制施行
2.4 全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
2.4.1 设备制造+气体服务齐头并进
2.4.2 通过收购快速开拓国际市场
2.4.3 通过技术创新丰富产品结构
第三章 2019-2021年中国电子特气行业发展环境
3.1 经济环境
3.1.1 宏观经济概况
3.1.2 工业运行情况
3.1.3 固定资产投资
3.1.4 宏观经济展望
3.2 政策环境
3.2.1 行业主管部门
3.2.2 行业相关政策
3.2.3 行业支持政策
3.2.4 行业标准汇总
3.2.5 细分品类标准
3.2.6 区域政策动态
3.3 行业环境
3.3.1 工业气体基本概述
3.3.2 工业气体发展特点
3.3.3 工业气体市场规模
3.3.4 工业气体区域竞争
3.3.5 工业气体竞争梯队
3.3.6 工业气体企业份额
3.3.7 工业气体产品布局
3.3.8 工业气体发展趋势
第四章 2019-2021年中国电子特气行业运行状况
4.1 中国电子特气行业产业链分析
4.1.1 产业链条分析
4.1.2 上游供应情况
4.1.3 下游应用结构
4.1.4 产业链企业布局
4.2 2019-2021年中国电子特气市场发展状况
4.2.1 行业发展历程
4.2.2 市场发展地位
4.2.3 市场发展态势
4.2.4 市场发展规模
4.2.5 市场供应模式
4.2.6 波特五力模型
4.3 2019-2021年中国电子特气企业竞争情况
4.3.1 企业竞争优势
4.3.2 企业竞争格局
4.3.3 主要企业介绍
4.3.4 企业产品布局
4.3.5 企业营收情况
4.3.6 市场地位对比
4.4 中国电子特气行业技术发展状况分析
4.4.1 电子特气行业技术发展需求
4.4.2 电子特气行业技术发展意义
4.4.3 典型电子特气企业研发成果
4.4.4 高纯含氟电子气体国产化成功
4.4.5 高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
4.5 中国电子特气行业发展问题及建议
4.5.1 行业起步较晚
4.5.2 行业竞争加剧
4.5.3 国际贸易摩擦
4.5.4 技术存在短板
4.5.5 行业发展建议
第五章 2019-2021年中国电子特气细分市场发展分析
5.1 清洗、蚀刻工艺特气
5.1.1 三氟化氮（NF3）
5.1.2 四氟化碳（CF4）
5.1.3 六氟化硫（SF6）
5.1.4 六氟乙烷（C2F6）
5.1.5 八氟丙烷（C3F8）
5.1.6 八氟环丁烷（C4F8）
5.2 氧化/沉积工艺特气
5.2.1 六氟化钨（WF6）
5.2.2 氧化亚氮（N2O）
5.2.3 氨气（NH3）
5.2.4 硅烷（SiH4）
5.2.5 锗烷（GeH4）
5.3 氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
5.3.1 磷烷（PH3）
5.3.2 砷烷（AsH3）
5.3.3 乙硼烷（B2H6）
5.4 其他电子特气
5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2 羰基硫（COS）
5.4.3 三氟化硼（BF3）
5.4.4 硒化氢（SeH2）
第六章 2019-2021年中国电子特气行业下游应用领域分析
6.1 半导体行业
6.1.1 半导体行业发展综述
6.1.2 半导体材料国产化
6.1.3 电子特气制程介绍
6.1.4 电子特气应用情况
6.1.5 电子特气应用规模
6.1.6 电子特气应用需求
6.1.7 电子特气应用前景
6.2 LED行业
6.2.1 LED行业发展综述
6.2.2 电子特气应用情况
6.2.3 电子特气应用前景
6.3 LCD行业
6.3.1 LCD行业发展综述
6.3.2 电子特气制程介绍
6.3.3 电子特气应用现状
6.3.4 电子特气具体应用
6.3.5 电子特气应用前景
6.4 太阳能电池行业
6.4.1 太阳能电池发展概述
6.4.2 电子特气制程介绍
6.4.3 电子特气应用情况
6.4.4 电子特气应用规模
第七章 2019-2021年国外电子特气行业重点企业经营情况
7.1 美国空气化工产品
7.1.1 企业发展概况
7.1.2 企业业务介绍
7.1.3 企业产品布局
7.1.4 企业技术创新
7.1.5 2019年企业经营状况分析
7.1.6 2020年企业经营状况分析
7.1.7 2021年企业经营状况分析
7.2 林德集团
7.2.1 企业发展历程
7.2.2 企业业务介绍
7.2.3 企业产品布局
7.2.4 企业技术创新
7.2.5 2019年企业经营状况分析
7.2.6 2020年企业经营状况分析
7.2.7 2021年企业经营状况分析
7.3 法国液空集团
7.3.1 企业发展历程
7.3.2 企业业务介绍
7.3.3 企业产品布局
7.3.4 工业网路组织
7.3.5 企业发展战略
7.3.6 2019年企业经营状况分析
7.3.7 2020年企业经营状况分析
7.3.8 2021年企业经营状况分析
7.4 日本酸素公司
7.4.1 企业发展概况
7.4.2 企业功能扩展
7.4.3 企业基础技术
7.4.4 企业销售情况
7.4.5 2019年企业经营状况分析
7.4.6 2020年企业经营状况分析
7.4.7 2021年企业经营状况分析
7.5 日本昭和电工株式会社
7.5.1 企业发展概况
7.5.2 企业业务介绍
7.5.3 企业产品布局
7.5.4 企业项目动态
7.5.5 2019年企业经营状况分析
7.5.6 2020年企业经营状况分析
7.5.7 2021年企业经营状况分析
7.6 其他企业
7.6.1 太阳日酸
7.6.2 关东电化
7.6.3 艾迪科
第八章 2018-2021年中国电子特气行业重点企业经营情况
8.1 广东华特气体股份有限公司
8.1.1 企业发展概况
8.1.2 企业发展历程
8.1.3 企业经营现状
8.1.4 特气营收情况
8.1.5 企业业务模式
8.1.6 企业业务布局
8.1.7 企业技术发展
8.1.8 企业项目布局
8.2 苏州金宏气体股份有限公司
8.2.1 企业发展概况
8.2.2 企业发展历程
8.2.3 企业工艺介绍
8.2.4 企业经营现状
8.2.5 特气营收情况
8.2.6 企业产能规模
8.2.7 企业产品布局
8.2.8 企业技术发展
8.3 江苏雅克科技股份有限公司
8.3.1 企业发展概况
8.3.2 企业发展历程
8.3.3 企业经营现状
8.3.4 电子特气营收
8.3.5 企业产品布局
8.3.6 细分产品介绍
8.3.7 企业项目动态
8.4 江苏南大光电材料股份有限公司
8.4.1 企业发展概况
8.4.2 企业发展历程
8.4.3 企业经营现状
8.4.4 特气营收情况
8.4.5 特气布局分析
8.4.6 企业产品布局
8.4.7 企业研发投入
8.5 昊华化工科技集团股份有限公司
8.5.1 企业发展概况
8.5.2 企业发展历程
8.5.3 企业经营现状
8.5.4 特气营收情况
8.5.5 企业产能规模
8.5.6 企业产品布局
8.5.7 企业研发投入
8.6 湖南凯美特气体股份有限公司
8.6.1 企业发展概况
8.6.2 企业发展历程
8.6.3 企业竞争优势
8.6.4 企业经营现状
8.6.5 气体营收分布
8.6.6 产品销售情况
8.6.7 特气布局分析
8.6.8 企业产品布局
8.6.9 企业研发投入
8.6.10 企业项目动态
8.7 湖北和远气体股份有限公司
8.7.1 企业发展概况
8.7.2 企业经营现状
8.7.3 电子特气营收
8.7.4 电子特气供应
8.7.5 企业研发投入
8.7.6 企业项目动态
8.8 其他企业
8.8.1 杭氧股份
8.8.2 巨化股份
8.8.3 正帆科技
8.8.4 派瑞特气
8.8.5 博纯材料
8.8.6 绿菱公司
8.8.7 硅烷科技
8.8.8 同辉气体
8.8.9 太和气体
第九章 2019-2021年中国电子特气行业投资分析
9.1 2019-2021年中国电子特气行业投融资状况
9.1.1 行业投资现状
9.1.2 企业融资动态
9.1.3 企业战略合作
9.1.4 项目投资布局
9.1.5 行业投资机遇
9.2 中国电子特气行业投资进入壁垒
9.2.1 技术壁垒
9.2.2 客户壁垒
9.2.3 服务壁垒
9.2.4 资金壁垒
9.2.5 资质壁垒
9.3 中国电子特气行业投资风险及策略
9.3.1 行业投资风险
9.3.2 行业投资策略
9.3.3 项目投资建议
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
10.1 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目
10.1.1 项目基本情况
10.1.2 项目投资价值
10.1.3 项目投资优势
10.1.4 项目实施主体
10.1.5 项目建设周期
10.1.6 项目投资概算
10.1.7 项目经济效益
10.2 南大光电三氟化氮生产装置项目
10.2.1 项目基本情况
10.2.2 项目投资内容
10.2.3 项目投资价值
10.2.4 项目建设周期
10.2.5 项目投资概算
10.2.6 产能消化空间
10.2.7 项目经济效益
10.2.8 项目备案进展
10.3 正帆科技气体扩产项目
10.3.1 项目基本情况
10.3.2 项目投资可行性
10.3.3 项目建设主体
10.3.4 项目建设周期
10.3.5 项目投资概算
10.3.6 项目环保措施
10.4 金宏气体集成电路用高纯气体项目
10.4.1 项目基本情况
10.4.2 项目投资背景
10.4.3 项目建设方案
10.4.4 主要设备配置
10.4.5 项目物料及能源供应
10.4.6 项目环境影响及设施
10.4.7 项目组织方式和实施进展
10.4.8 项目投资概算及财务评价
第十一章 2021-2026年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
11.1 中国电子特气行业未来发展趋势
11.1.1 行业发展机遇
11.1.2 行业发展趋势
11.1.3 国产替代趋势
11.2 对2021-2026年中国电子特气行业预测分析
11.2.1 2021-2026年中国电子特气行业影响因素分析
11.2.2 2021-2026年中国电子特气市场规模预测
图表目录
图表 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表 三种分离方法比较
图表 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀机中辉光放电原理
图表 离子注入工艺流程
图表 离子注入机之磁分析器结构简图
图表 离子注入机设备结构简图
图表 电子气体纯度要求
图表 气体纯化工艺流程图
图表 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表 空气分离工艺流程图资
图表 气体充装工艺流程图
图表 气体混配工艺流程图
图表 气体检验工艺流程图
图表 气瓶处理工艺流程图
图表 全球电子气体市场规模
图表 2020全球电子气体细分市场格局
图表 2019年全球电子特气市场格局
图表 全球电子特种气体知名企业
图表 2019年全球各公司特气业务营收
图表 海外电子气体产业链
图表 2019年全球电子特气行业下游应用结构
图表 海外电子特气厂商产品技术情况
图表 日本主要电子特气需求量及增速
图表 工业气体龙头的发展路径
图表 林德集团的收购事件
图表 空气化工的技术、产品和市场
图表 2015-2019年国内生产总值及其增长速度
图表 2015-2019年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2015-2019年万元国内生产总值能耗降低率
图表 2016-2020年国内生产总值及其增长速度
图表 2016-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2021年GDP初步核算数据
图表 2019年各月累计营业收入与利润总额同比增速
图表 2019年规模以上工业企业主要财务指标（分行业）
图表 2016-2020年全部工业增加值及增长速度
图表 2020年主要工业产品产量及其增长速度
图表 2020-2021年规模以上工业增加值同比增长速度
图表 2021年规模以上工业生产主要数据
图表 2019年中国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表 2019年中国固定资产投资（不含农户）主要数据
图表 2020年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2020年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2020-2021年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表 2021年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表 电子特气行业主管部门
图表 2009-2020年电子特气行业的相关国家政策
图表 2017-2019年中国重点新材料目录-特种气体入选数量
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》-电子特气入选目录明细
图表 2005-2020年电子特种气体国际标准
图表 2008-2021年电子特种气体国家标准
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表 现行有效其他含氟气体标准
图表 工业气体的用途
图表 中国工业气体行业的周期性和区域性
图表 2014-2020年中国工业气体市场规模
图表 中国工业气体行业企业按区域分布情况
图表 2020年中国工业气体行业竞争梯队（按相关营收划分）
图表 2020年国内工业气体行业主要企业市场占比
图表 2020年中国气体行业知名品牌
图表 电子特气产业链
图表 电子气体行业上游原材料和设备情况
图表 2020年中国电子特气应用市场结构
图表 电子特气行业产业链企业图谱
图表 电子特气行业发展历程
图表 电子特气是气体行业的重要分支
图表 2013-2020年中国电子特种气体市场规模及增速
图表 电子气体行业供气经营业务模式特点
图表 电子气体行业供应模式与要点
图表 TGCM一站式服务模式
图表 电子气体行业五力模型
图表 林德集团在我国工厂分布较为分散
图表 林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表 2019年我国电子特气市场格局
图表 国内主要电子气体公司产品
图表 八大国内电子气体供应商对比
图表 八大国内电子气体供应商对比（续）
图表 2019年国内外主要电子气公司业绩表
图表 2018-2021年全球NF3市场需求
图表 2015-2021年国内NF3市场需求
图表 三氟化氮主要公司产能
图表 国内四氟化碳需求
图表 四氟化碳主要公司产能
图表 六氟化硫主要公司产能
图表 六氟乙烷主要公司产能
图表 八氟丙烷主要公司产能
图表 八氟环丁烷主要公司产能
图表 2014-2019年全球六氟化钨市场消费量
图表 六氟化钨主要公司产能
图表 氧化亚氮主要公司产能
图表 高纯氨器主要公司产能
图表 硅烷主要公司产能
图表 锗烷主要公司产能
图表 磷烷主要公司产能
图表 砷烷主要公司产能
图表 乙硼烷主要公司产能
图表 六氟丁二烯主要公司产能
图表 羰基硫主要公司产能
图表 三氟化硼主要公司产能
图表 硒化氢主要公司产能
图表 2000-2020年全球半导体市场规模及增速
图表 2015-2020年中国集成电路市场规模及增速
图表 2010-2020年全球半导体兼并和收购案金额
图表 半导体材料国产化情况
图表 集成电路制造工艺流程
图表 常见的气相沉积气体
图表 常见的刻蚀气体
图表 常见的掺杂气体
图表 2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表 2009-2020年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表 2015-2020年全球晶圆产能转移
图表 我国主要晶圆厂商在建产能情况
图表 2016-2021年中国LED照明行业市场规模渗透率
图表 LED生产流程
图表 LED生产外延片制造和芯片制程
图表 全球面板产业发展简史
图表 中国面板产业发展历程
图表 1999-2020年全球LCD产能区域结构分布情况
图表 TFT-LCD制造流程
图表 TFT干刻气体选择
图表 显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表 太阳能电池的分类
图表 太阳能电池制程介绍
图表 2020-2021年中国太阳能电池产量
图表 空气化工发展历程
图表 空气化工电子领域业务概况
图表 美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表 空气化工创新性技术
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 林德集团发展历程
图表 林德集团电子领域产品概况
图表 林德集团气体种类及应用领域
图表 林德集团四大突破性技术
图表 2018-2019年林德集团综合收益表
图表 2018-2019年林德集团分部资料
图表 2018-2019年林德集团收入分地区资料
图表 2019-2020年林德集团综合收益表
图表 2019-2020年林德集团分部资料
图表 2019-2020年林德集团收入分地区资料
图表 2020-2021年林德集团综合收益表
图表 2020-2021年林德集团分部资料
图表 2020-2021年林德集团收入分地区资料
图表 液化空气发展历程
图表 液化空气电子领域业务概况
图表 法国液空电子材料种类及应用领域
图表 液化空气高效的工业网络组织
图表 液化空气四大战略支柱
图表 2018-2019年法国液空集团综合收益表
图表 2018-2019年法国液空集团分部资料
图表 2018-2019年法国液空集团收入分地区资料
图表 2019-2020年法国液空集团综合收益表
图表 2019-2020年法国液空集团分部资料
图表 2019-2020年法国液空集团收入分地区资料
图表 2020-2021年法国液空集团综合收益表
图表 2020-2021年法国液空集团分部资料
图表 2020-2021年法国液空集团收入分地区资料
图表 日本酸素业务概况
图表 日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表 日本酸素扩展五大功能
图表 日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表 日本酸素的全球化销售网络
图表 2018-2019年日本酸素公司综合收益表
图表 2018-2019年日本酸素公司分部资料
图表 2018-2019年日本酸素公司收入分地区资料
图表 2019-2020年日本酸素公司综合收益表
图表 2019-2020年日本酸素公司分部资料
图表 2019-2020年日本酸素公司收入分地区资料
图表 2020-2021年日本酸素公司综合收益表
图表 2020-2021年日本酸素公司分部资料
图表 2020-2021年日本酸素公司收入分地区资料
图表 昭和电工业务概况
图表 昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表 2018-2019年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2018-2019年昭和电工株式会社分部资料
图表 2018-2019年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 2019-2020年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2019-2020年昭和电工株式会社分部资料
图表 2019-2020年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 2020-2021年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2020-2021年昭和电工株式会社分部资料
图表 2020-2021年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 日本太阳日酸发展历史
图表 日本太阳日酸气体种类及应用领域
图表 关东化工气体种类及应用领域
图表 艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表 华特气体发展历程
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年广东华特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2016-2020年华特气体分业务营业收入占比
图表 华特气体按产品分收入结构
图表 华特气体业务模式及主要客户
图表 华特气体产品情况
图表 华特气体核心技术及优势
图表 2016-2020年华特气体研发支出趋势
图表 公司主要特气产能及募投产能情况
图表 金宏气体历史沿革
图表 金宏气体七大工艺
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年苏州金宏气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表 2020年金宏气体营收占比
图表 金宏气体部分产品国内市场份额
图表 金宏气体特气产能及规划
图表 金宏气体主要气体产品
图表 金宏气体核心技术对比
图表 2016-2020年金宏气体研发趋势
图表 雅克科技发展历程
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表 雅克科技特种气体客户
图表 2020年雅克科技营收构成
图表 雅克科技产品构成
图表 雅克电子特气解析
图表 雅克科技主要产品产能情况
图表 南大光电历史沿革
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表 2020年南大光电营收占比
图表 飞源特气客户情况
图表 南大光电特气产能情况
图表 南大光电气体产品
图表 2016-2020年南大光电研发趋势
图表 昊华科技发展历程
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表 2020年昊华科技主营业务占比
图表 昊华科技特气产能扩张规划
图表 昊华科技气体产品线
图表 昊华科技气体扩产
图表 2018-2020年昊华科技研发趋势
图表 凯美特气历史沿革
图表 凯美特气力求实现电子特气原料、生产、包装、检测完整产业闭环
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2021年凯美特气营收占比
图表 2020-2021年凯美特气电子特气销售情况
图表 凯美特气子公司及产品布局
图表 2016-2020年凯美特气研发趋势
图表 凯美特气第一期电子特气产品
图表 和远气体历史沿革
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表 2020年和远气体营收占比
图表 和远气体产品与供应布局
图表 和远气体核心技术
图表 2016-2020年和远气体研发趋势
图表 杭氧股份产品线
图表 杭氧股份6大供气模式
图表 巨化股份产品线
图表 巨化股份电子级气体
图表 正帆科技历史沿革
图表 正帆科技业务布局
图表 正帆科技高纯特气产品
图表 正帆科技下游客户
图表 2020年正帆科技营收构成
图表 派瑞特气现有产能及规划产
图表 博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表 绿菱公司历史沿革
图表 绿菱公司产线及纯度
图表 硅烷科技硅烷产品现有及拟在建产能
图表 同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表 太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表 大基金二期细化情况梳理
图表 成都科美特拥有的技术储备
图表 成都科美特拥有的技术储备（续）
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目建设周期
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目投资明细
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目未来盈利情况
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目营业收入预测
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目成本费用测算
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目经济效益测算
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目总体投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目基建投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目设备投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目收入预测
图表 2017-2020年南大光电三氟化氮平均价格
图表 南大光电三氟化氮产品销售收入预测
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测（续）
图表 正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表 正帆科技气体扩产项目投资明细
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目新增设备
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目年燃料动力消耗
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目建设周期
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目投资估算
图表 2019年部分地区半导体相关布局
图表 国内特种气体公司已实现进口替代的产品
1.1 电子特气相关界定
1.1.1 电子特气的含义
1.1.2 电子特气的分类
1.1.3 电子特气的纯度
1.2 电子特气工艺分类
1.2.1 化学气相沉积工艺
1.2.2 光刻工艺
1.2.3 刻蚀工艺
1.2.4 掺杂工艺
1.3 电子特气工艺流程
1.3.1 气体纯化
1.3.2 气体合成
1.3.3 空气分离
1.3.4 气体充装
1.3.5 气体混配
1.3.6 气体检测
1.3.7 气瓶处理
第二章 2019-2021年全球电子特气行业发展综况
2.1 2019-2021年全球电子特气发展现状
2.1.1 市场发展规模
2.1.2 市场份额分布
2.1.3 企业竞争格局
2.1.4 企业营收情况
2.1.5 产业链条布局
2.1.6 应用领域分布
2.1.7 产品技术分析
2.2 2019-2021年美国电子特气发展分析
2.2.1 市场相关政策
2.2.2 市场主体介绍
2.2.3 企业布局动态
2.2.4 市场发展困境
2.3 2019-2021年日本电子特气发展分析
2.3.1 市场发展现状
2.3.2 市场需求分析
2.3.3 市场主体介绍
2.3.4 企业营收情况
2.3.5 企业布局动态
2.3.6 出口管制施行
2.4 全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
2.4.1 设备制造+气体服务齐头并进
2.4.2 通过收购快速开拓国际市场
2.4.3 通过技术创新丰富产品结构
第三章 2019-2021年中国电子特气行业发展环境
3.1 经济环境
3.1.1 宏观经济概况
3.1.2 工业运行情况
3.1.3 固定资产投资
3.1.4 宏观经济展望
3.2 政策环境
3.2.1 行业主管部门
3.2.2 行业相关政策
3.2.3 行业支持政策
3.2.4 行业标准汇总
3.2.5 细分品类标准
3.2.6 区域政策动态
3.3 行业环境
3.3.1 工业气体基本概述
3.3.2 工业气体发展特点
3.3.3 工业气体市场规模
3.3.4 工业气体区域竞争
3.3.5 工业气体竞争梯队
3.3.6 工业气体企业份额
3.3.7 工业气体产品布局
3.3.8 工业气体发展趋势
第四章 2019-2021年中国电子特气行业运行状况
4.1 中国电子特气行业产业链分析
4.1.1 产业链条分析
4.1.2 上游供应情况
4.1.3 下游应用结构
4.1.4 产业链企业布局
4.2 2019-2021年中国电子特气市场发展状况
4.2.1 行业发展历程
4.2.2 市场发展地位
4.2.3 市场发展态势
4.2.4 市场发展规模
4.2.5 市场供应模式
4.2.6 波特五力模型
4.3 2019-2021年中国电子特气企业竞争情况
4.3.1 企业竞争优势
4.3.2 企业竞争格局
4.3.3 主要企业介绍
4.3.4 企业产品布局
4.3.5 企业营收情况
4.3.6 市场地位对比
4.4 中国电子特气行业技术发展状况分析
4.4.1 电子特气行业技术发展需求
4.4.2 电子特气行业技术发展意义
4.4.3 典型电子特气企业研发成果
4.4.4 高纯含氟电子气体国产化成功
4.4.5 高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
4.5 中国电子特气行业发展问题及建议
4.5.1 行业起步较晚
4.5.2 行业竞争加剧
4.5.3 国际贸易摩擦
4.5.4 技术存在短板
4.5.5 行业发展建议
第五章 2019-2021年中国电子特气细分市场发展分析
5.1 清洗、蚀刻工艺特气
5.1.1 三氟化氮（NF3）
5.1.2 四氟化碳（CF4）
5.1.3 六氟化硫（SF6）
5.1.4 六氟乙烷（C2F6）
5.1.5 八氟丙烷（C3F8）
5.1.6 八氟环丁烷（C4F8）
5.2 氧化/沉积工艺特气
5.2.1 六氟化钨（WF6）
5.2.2 氧化亚氮（N2O）
5.2.3 氨气（NH3）
5.2.4 硅烷（SiH4）
5.2.5 锗烷（GeH4）
5.3 氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
5.3.1 磷烷（PH3）
5.3.2 砷烷（AsH3）
5.3.3 乙硼烷（B2H6）
5.4 其他电子特气
5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2 羰基硫（COS）
5.4.3 三氟化硼（BF3）
5.4.4 硒化氢（SeH2）
第六章 2019-2021年中国电子特气行业下游应用领域分析
6.1 半导体行业
6.1.1 半导体行业发展综述
6.1.2 半导体材料国产化
6.1.3 电子特气制程介绍
6.1.4 电子特气应用情况
6.1.5 电子特气应用规模
6.1.6 电子特气应用需求
6.1.7 电子特气应用前景
6.2 LED行业
6.2.1 LED行业发展综述
6.2.2 电子特气应用情况
6.2.3 电子特气应用前景
6.3 LCD行业
6.3.1 LCD行业发展综述
6.3.2 电子特气制程介绍
6.3.3 电子特气应用现状
6.3.4 电子特气具体应用
6.3.5 电子特气应用前景
6.4 太阳能电池行业
6.4.1 太阳能电池发展概述
6.4.2 电子特气制程介绍
6.4.3 电子特气应用情况
6.4.4 电子特气应用规模
第七章 2019-2021年国外电子特气行业重点企业经营情况
7.1 美国空气化工产品
7.1.1 企业发展概况
7.1.2 企业业务介绍
7.1.3 企业产品布局
7.1.4 企业技术创新
7.1.5 2019年企业经营状况分析
7.1.6 2020年企业经营状况分析
7.1.7 2021年企业经营状况分析
7.2 林德集团
7.2.1 企业发展历程
7.2.2 企业业务介绍
7.2.3 企业产品布局
7.2.4 企业技术创新
7.2.5 2019年企业经营状况分析
7.2.6 2020年企业经营状况分析
7.2.7 2021年企业经营状况分析
7.3 法国液空集团
7.3.1 企业发展历程
7.3.2 企业业务介绍
7.3.3 企业产品布局
7.3.4 工业网路组织
7.3.5 企业发展战略
7.3.6 2019年企业经营状况分析
7.3.7 2020年企业经营状况分析
7.3.8 2021年企业经营状况分析
7.4 日本酸素公司
7.4.1 企业发展概况
7.4.2 企业功能扩展
7.4.3 企业基础技术
7.4.4 企业销售情况
7.4.5 2019年企业经营状况分析
7.4.6 2020年企业经营状况分析
7.4.7 2021年企业经营状况分析
7.5 日本昭和电工株式会社
7.5.1 企业发展概况
7.5.2 企业业务介绍
7.5.3 企业产品布局
7.5.4 企业项目动态
7.5.5 2019年企业经营状况分析
7.5.6 2020年企业经营状况分析
7.5.7 2021年企业经营状况分析
7.6 其他企业
7.6.1 太阳日酸
7.6.2 关东电化
7.6.3 艾迪科
第八章 2018-2021年中国电子特气行业重点企业经营情况
8.1 广东华特气体股份有限公司
8.1.1 企业发展概况
8.1.2 企业发展历程
8.1.3 企业经营现状
8.1.4 特气营收情况
8.1.5 企业业务模式
8.1.6 企业业务布局
8.1.7 企业技术发展
8.1.8 企业项目布局
8.2 苏州金宏气体股份有限公司
8.2.1 企业发展概况
8.2.2 企业发展历程
8.2.3 企业工艺介绍
8.2.4 企业经营现状
8.2.5 特气营收情况
8.2.6 企业产能规模
8.2.7 企业产品布局
8.2.8 企业技术发展
8.3 江苏雅克科技股份有限公司
8.3.1 企业发展概况
8.3.2 企业发展历程
8.3.3 企业经营现状
8.3.4 电子特气营收
8.3.5 企业产品布局
8.3.6 细分产品介绍
8.3.7 企业项目动态
8.4 江苏南大光电材料股份有限公司
8.4.1 企业发展概况
8.4.2 企业发展历程
8.4.3 企业经营现状
8.4.4 特气营收情况
8.4.5 特气布局分析
8.4.6 企业产品布局
8.4.7 企业研发投入
8.5 昊华化工科技集团股份有限公司
8.5.1 企业发展概况
8.5.2 企业发展历程
8.5.3 企业经营现状
8.5.4 特气营收情况
8.5.5 企业产能规模
8.5.6 企业产品布局
8.5.7 企业研发投入
8.6 湖南凯美特气体股份有限公司
8.6.1 企业发展概况
8.6.2 企业发展历程
8.6.3 企业竞争优势
8.6.4 企业经营现状
8.6.5 气体营收分布
8.6.6 产品销售情况
8.6.7 特气布局分析
8.6.8 企业产品布局
8.6.9 企业研发投入
8.6.10 企业项目动态
8.7 湖北和远气体股份有限公司
8.7.1 企业发展概况
8.7.2 企业经营现状
8.7.3 电子特气营收
8.7.4 电子特气供应
8.7.5 企业研发投入
8.7.6 企业项目动态
8.8 其他企业
8.8.1 杭氧股份
8.8.2 巨化股份
8.8.3 正帆科技
8.8.4 派瑞特气
8.8.5 博纯材料
8.8.6 绿菱公司
8.8.7 硅烷科技
8.8.8 同辉气体
8.8.9 太和气体
第九章 2019-2021年中国电子特气行业投资分析
9.1 2019-2021年中国电子特气行业投融资状况
9.1.1 行业投资现状
9.1.2 企业融资动态
9.1.3 企业战略合作
9.1.4 项目投资布局
9.1.5 行业投资机遇
9.2 中国电子特气行业投资进入壁垒
9.2.1 技术壁垒
9.2.2 客户壁垒
9.2.3 服务壁垒
9.2.4 资金壁垒
9.2.5 资质壁垒
9.3 中国电子特气行业投资风险及策略
9.3.1 行业投资风险
9.3.2 行业投资策略
9.3.3 项目投资建议
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
10.1 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目
10.1.1 项目基本情况
10.1.2 项目投资价值
10.1.3 项目投资优势
10.1.4 项目实施主体
10.1.5 项目建设周期
10.1.6 项目投资概算
10.1.7 项目经济效益
10.2 南大光电三氟化氮生产装置项目
10.2.1 项目基本情况
10.2.2 项目投资内容
10.2.3 项目投资价值
10.2.4 项目建设周期
10.2.5 项目投资概算
10.2.6 产能消化空间
10.2.7 项目经济效益
10.2.8 项目备案进展
10.3 正帆科技气体扩产项目
10.3.1 项目基本情况
10.3.2 项目投资可行性
10.3.3 项目建设主体
10.3.4 项目建设周期
10.3.5 项目投资概算
10.3.6 项目环保措施
10.4 金宏气体集成电路用高纯气体项目
10.4.1 项目基本情况
10.4.2 项目投资背景
10.4.3 项目建设方案
10.4.4 主要设备配置
10.4.5 项目物料及能源供应
10.4.6 项目环境影响及设施
10.4.7 项目组织方式和实施进展
10.4.8 项目投资概算及财务评价
第十一章 2021-2026年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
11.1 中国电子特气行业未来发展趋势
11.1.1 行业发展机遇
11.1.2 行业发展趋势
11.1.3 国产替代趋势
11.2 对2021-2026年中国电子特气行业预测分析
11.2.1 2021-2026年中国电子特气行业影响因素分析
11.2.2 2021-2026年中国电子特气市场规模预测
图表目录
图表 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表 三种分离方法比较
图表 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀机中辉光放电原理
图表 离子注入工艺流程
图表 离子注入机之磁分析器结构简图
图表 离子注入机设备结构简图
图表 电子气体纯度要求
图表 气体纯化工艺流程图
图表 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表 空气分离工艺流程图资
图表 气体充装工艺流程图
图表 气体混配工艺流程图
图表 气体检验工艺流程图
图表 气瓶处理工艺流程图
图表 全球电子气体市场规模
图表 2020全球电子气体细分市场格局
图表 2019年全球电子特气市场格局
图表 全球电子特种气体知名企业
图表 2019年全球各公司特气业务营收
图表 海外电子气体产业链
图表 2019年全球电子特气行业下游应用结构
图表 海外电子特气厂商产品技术情况
图表 日本主要电子特气需求量及增速
图表 工业气体龙头的发展路径
图表 林德集团的收购事件
图表 空气化工的技术、产品和市场
图表 2015-2019年国内生产总值及其增长速度
图表 2015-2019年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2015-2019年万元国内生产总值能耗降低率
图表 2016-2020年国内生产总值及其增长速度
图表 2016-2020年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2021年GDP初步核算数据
图表 2019年各月累计营业收入与利润总额同比增速
图表 2019年规模以上工业企业主要财务指标（分行业）
图表 2016-2020年全部工业增加值及增长速度
图表 2020年主要工业产品产量及其增长速度
图表 2020-2021年规模以上工业增加值同比增长速度
图表 2021年规模以上工业生产主要数据
图表 2019年中国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表 2019年中国固定资产投资（不含农户）主要数据
图表 2020年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2020年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2020-2021年我国固定资产投资（不含农户）同比增速
图表 2021年固定资产投资（不含农户）主要数据
图表 电子特气行业主管部门
图表 2009-2020年电子特气行业的相关国家政策
图表 2017-2019年中国重点新材料目录-特种气体入选数量
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》-电子特气入选目录明细
图表 2005-2020年电子特种气体国际标准
图表 2008-2021年电子特种气体国家标准
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表 现行有效其他含氟气体标准
图表 工业气体的用途
图表 中国工业气体行业的周期性和区域性
图表 2014-2020年中国工业气体市场规模
图表 中国工业气体行业企业按区域分布情况
图表 2020年中国工业气体行业竞争梯队（按相关营收划分）
图表 2020年国内工业气体行业主要企业市场占比
图表 2020年中国气体行业知名品牌
图表 电子特气产业链
图表 电子气体行业上游原材料和设备情况
图表 2020年中国电子特气应用市场结构
图表 电子特气行业产业链企业图谱
图表 电子特气行业发展历程
图表 电子特气是气体行业的重要分支
图表 2013-2020年中国电子特种气体市场规模及增速
图表 电子气体行业供气经营业务模式特点
图表 电子气体行业供应模式与要点
图表 TGCM一站式服务模式
图表 电子气体行业五力模型
图表 林德集团在我国工厂分布较为分散
图表 林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表 2019年我国电子特气市场格局
图表 国内主要电子气体公司产品
图表 八大国内电子气体供应商对比
图表 八大国内电子气体供应商对比（续）
图表 2019年国内外主要电子气公司业绩表
图表 2018-2021年全球NF3市场需求
图表 2015-2021年国内NF3市场需求
图表 三氟化氮主要公司产能
图表 国内四氟化碳需求
图表 四氟化碳主要公司产能
图表 六氟化硫主要公司产能
图表 六氟乙烷主要公司产能
图表 八氟丙烷主要公司产能
图表 八氟环丁烷主要公司产能
图表 2014-2019年全球六氟化钨市场消费量
图表 六氟化钨主要公司产能
图表 氧化亚氮主要公司产能
图表 高纯氨器主要公司产能
图表 硅烷主要公司产能
图表 锗烷主要公司产能
图表 磷烷主要公司产能
图表 砷烷主要公司产能
图表 乙硼烷主要公司产能
图表 六氟丁二烯主要公司产能
图表 羰基硫主要公司产能
图表 三氟化硼主要公司产能
图表 硒化氢主要公司产能
图表 2000-2020年全球半导体市场规模及增速
图表 2015-2020年中国集成电路市场规模及增速
图表 2010-2020年全球半导体兼并和收购案金额
图表 半导体材料国产化情况
图表 集成电路制造工艺流程
图表 常见的气相沉积气体
图表 常见的刻蚀气体
图表 常见的掺杂气体
图表 2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表 2009-2020年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表 2015-2020年全球晶圆产能转移
图表 我国主要晶圆厂商在建产能情况
图表 2016-2021年中国LED照明行业市场规模渗透率
图表 LED生产流程
图表 LED生产外延片制造和芯片制程
图表 全球面板产业发展简史
图表 中国面板产业发展历程
图表 1999-2020年全球LCD产能区域结构分布情况
图表 TFT-LCD制造流程
图表 TFT干刻气体选择
图表 显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表 太阳能电池的分类
图表 太阳能电池制程介绍
图表 2020-2021年中国太阳能电池产量
图表 空气化工发展历程
图表 空气化工电子领域业务概况
图表 美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表 空气化工创新性技术
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2018-2019年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2019-2020年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司综合收益表
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司分部资料
图表 2020-2021年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料
图表 林德集团发展历程
图表 林德集团电子领域产品概况
图表 林德集团气体种类及应用领域
图表 林德集团四大突破性技术
图表 2018-2019年林德集团综合收益表
图表 2018-2019年林德集团分部资料
图表 2018-2019年林德集团收入分地区资料
图表 2019-2020年林德集团综合收益表
图表 2019-2020年林德集团分部资料
图表 2019-2020年林德集团收入分地区资料
图表 2020-2021年林德集团综合收益表
图表 2020-2021年林德集团分部资料
图表 2020-2021年林德集团收入分地区资料
图表 液化空气发展历程
图表 液化空气电子领域业务概况
图表 法国液空电子材料种类及应用领域
图表 液化空气高效的工业网络组织
图表 液化空气四大战略支柱
图表 2018-2019年法国液空集团综合收益表
图表 2018-2019年法国液空集团分部资料
图表 2018-2019年法国液空集团收入分地区资料
图表 2019-2020年法国液空集团综合收益表
图表 2019-2020年法国液空集团分部资料
图表 2019-2020年法国液空集团收入分地区资料
图表 2020-2021年法国液空集团综合收益表
图表 2020-2021年法国液空集团分部资料
图表 2020-2021年法国液空集团收入分地区资料
图表 日本酸素业务概况
图表 日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表 日本酸素扩展五大功能
图表 日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表 日本酸素的全球化销售网络
图表 2018-2019年日本酸素公司综合收益表
图表 2018-2019年日本酸素公司分部资料
图表 2018-2019年日本酸素公司收入分地区资料
图表 2019-2020年日本酸素公司综合收益表
图表 2019-2020年日本酸素公司分部资料
图表 2019-2020年日本酸素公司收入分地区资料
图表 2020-2021年日本酸素公司综合收益表
图表 2020-2021年日本酸素公司分部资料
图表 2020-2021年日本酸素公司收入分地区资料
图表 昭和电工业务概况
图表 昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表 2018-2019年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2018-2019年昭和电工株式会社分部资料
图表 2018-2019年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 2019-2020年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2019-2020年昭和电工株式会社分部资料
图表 2019-2020年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 2020-2021年昭和电工株式会社综合收益表
图表 2020-2021年昭和电工株式会社分部资料
图表 2020-2021年昭和电工株式会社收入分地区资料
图表 日本太阳日酸发展历史
图表 日本太阳日酸气体种类及应用领域
图表 关东化工气体种类及应用领域
图表 艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表 华特气体发展历程
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年广东华特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2016-2020年华特气体分业务营业收入占比
图表 华特气体按产品分收入结构
图表 华特气体业务模式及主要客户
图表 华特气体产品情况
图表 华特气体核心技术及优势
图表 2016-2020年华特气体研发支出趋势
图表 公司主要特气产能及募投产能情况
图表 金宏气体历史沿革
图表 金宏气体七大工艺
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年苏州金宏气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表 2020年金宏气体营收占比
图表 金宏气体部分产品国内市场份额
图表 金宏气体特气产能及规划
图表 金宏气体主要气体产品
图表 金宏气体核心技术对比
图表 2016-2020年金宏气体研发趋势
图表 雅克科技发展历程
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表 雅克科技特种气体客户
图表 2020年雅克科技营收构成
图表 雅克科技产品构成
图表 雅克电子特气解析
图表 雅克科技主要产品产能情况
图表 南大光电历史沿革
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表 2020年南大光电营收占比
图表 飞源特气客户情况
图表 南大光电特气产能情况
图表 南大光电气体产品
图表 2016-2020年南大光电研发趋势
图表 昊华科技发展历程
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表 2020年昊华科技主营业务占比
图表 昊华科技特气产能扩张规划
图表 昊华科技气体产品线
图表 昊华科技气体扩产
图表 2018-2020年昊华科技研发趋势
图表 凯美特气历史沿革
图表 凯美特气力求实现电子特气原料、生产、包装、检测完整产业闭环
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2021年凯美特气营收占比
图表 2020-2021年凯美特气电子特气销售情况
图表 凯美特气子公司及产品布局
图表 2016-2020年凯美特气研发趋势
图表 凯美特气第一期电子特气产品
图表 和远气体历史沿革
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表 2019-2020年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2018-2021年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表 2020年和远气体营收占比
图表 和远气体产品与供应布局
图表 和远气体核心技术
图表 2016-2020年和远气体研发趋势
图表 杭氧股份产品线
图表 杭氧股份6大供气模式
图表 巨化股份产品线
图表 巨化股份电子级气体
图表 正帆科技历史沿革
图表 正帆科技业务布局
图表 正帆科技高纯特气产品
图表 正帆科技下游客户
图表 2020年正帆科技营收构成
图表 派瑞特气现有产能及规划产
图表 博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表 绿菱公司历史沿革
图表 绿菱公司产线及纯度
图表 硅烷科技硅烷产品现有及拟在建产能
图表 同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表 太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表 大基金二期细化情况梳理
图表 成都科美特拥有的技术储备
图表 成都科美特拥有的技术储备（续）
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目建设周期
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目投资明细
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目未来盈利情况
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目营业收入预测
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目成本费用测算
图表 雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目经济效益测算
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目总体投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目基建投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目设备投资明细
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目收入预测
图表 2017-2020年南大光电三氟化氮平均价格
图表 南大光电三氟化氮产品销售收入预测
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测
图表 南大光电三氟化氮生产装置项目利润预测（续）
图表 正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表 正帆科技气体扩产项目投资明细
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目新增设备
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目年燃料动力消耗
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目建设周期
图表 金宏气体集成电路用高纯气体项目投资估算
图表 2019年部分地区半导体相关布局
图表 国内特种气体公司已实现进口替代的产品
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