2023-2028年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告
2023-03-25
- 【报告名称】：2023-2028年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告
- 【报告编号】：34669
- 【出版单位】：慧研纵横研究网
- 【关键字】： 电子特气 市场调研 研究报告
- 【出版日期】：2023-03-25
- 【交付方式】：EMAIL电子版或EMS特快专递
- 【价格】：电子版：8900元 纸介版：8900元
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【报告简介】：
电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是电子工业生产的基础关键原材料。工业气体产品可分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大、纯度略低；而特种气体则属于高技术、高附加值产品，对产品的质量要求较高。《战略性新兴产业分类（2018）》将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响。
从特种气体细分市场来看，电子特气份额占比最大，2021年为63%。在中国经济结构正在优化升级的大环境下，政府重点扶持高新技术产业如集成电路、发光二级管等。电子特气为集成电路、显示面板及发光二级管的重要原材料，下游行业的高速发展加大企业对电子特气的需求。在政策利好与需求升级的双轮驱动下，中国电子特气市场呈现高速增长的状态。2017-2021年，中国电子特气市场规模从114亿元增至216亿元，年复合增长率达17 32%。
半导体集成电路为主要细分领域。电子特气的应用方向为集成电路及器件领域、面板领域和太阳能及LED领域。根据2020年中国电子特气的应用市场结构，集成电路及器件领域占比最大，为44 2%。而半导体集成电路市场广阔，将带动电子特气在集成电路领域的应用市场规模进一步提升。2022年上半年，中国集成电路产业的销售额达到4763 5亿元，同比增长16 1%。
政策推动电子特气实现国产替代。2021年12月，为进一步做好重点新材料首批次应用保险补偿试点工作，工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》（下称《目录》），自2022年1月1日起施行。其中特种气体入选《目录》，共有33种特种气体入选。区域层面，2021年5月，浙江省发布了《浙江省新材料产业发展“十四五”规划》，其中提出提出重点发展包括电子特气以及下游光刻胶等半导体新材料，重点打造基于电子化学品材料的核心产业链。
多重利好叠加，国产替代进程势不可挡。随着国内半导体厂商产能的逐步释放，叠加国家相关产业政策和资金支持，国内电子特气厂商竞争优势凸显，不断突破国外技术垄断，建立起完整的生产和供应体系。当前国内厂商的部分产品性能可比肩国际先进水平，达到了集成电路生产用电子气体的技术水平和工艺要求，并逐步实现了进口替代。国产替代进程势不可挡，特种气体国产化是未来行业发展的必然趋势。
《2023-2028年中国电子特气行业市场深度调研与投资前景研究报告》共十一章。报告首先介绍了电子特气的相关定义、全球电子特气行业发展情况、以及电子特气发展背景和环境。接着分析了电子特气行业总体市场及细分市场的发展状况，然后对电子特气行业下游应用领域和国内外重点企业经营状况做了详实的解析，最后重点分析了电子特气行业投资状况和典型项目案例，并对电子特气行业的发展前景做出了科学的分析和预测。
【报告目录】：
第一章 电子特气行业概述
1.1 电子特气相关界定
1.1.1 电子特气的含义
1.1.2 电子特气的分类
1.1.3 电子特气的纯度
1.2 电子特气工艺分类
1.2.1 化学气相沉积工艺
1.2.2 光刻工艺
1.2.3 刻蚀工艺
1.2.4 掺杂工艺
1.3 电子特气工艺流程
1.3.1 气体纯化
1.3.2 气体合成
1.3.3 空气分离
1.3.4 气体充装
1.3.5 气体混配
1.3.6 气体检测
1.3.7 气瓶处理
第二章 2021-2023年全球电子特气行业发展综况
2.1 2021-2023年全球电子特气发展现状
2.1.1 市场发展现状
2.1.2 市场发展规模
2.1.3 市场份额分布
2.1.4 企业竞争格局
2.1.5 企业营收情况
2.1.6 产业链条布局
2.1.7 应用领域分布
2.1.8 产品技术分析
2.2 2021-2023年美国电子特气发展分析
2.2.1 市场相关政策
2.2.2 市场主体介绍
2.2.3 企业布局动态
2.2.4 市场发展困境
2.3 2021-2023年日本电子特气发展分析
2.3.1 市场发展现状
2.3.2 市场供求分析
2.3.3 市场主体介绍
2.3.4 企业营收情况
2.3.5 企业布局动态
2.3.6 出口管制施行
2.4 全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
2.4.1 设备制造+气体服务齐头并进
2.4.2 通过收购快速开拓国际市场
2.4.3 通过技术创新丰富产品结构
第三章 2021-2023年中国电子特气行业发展环境
3.1 经济环境
3.1.1 宏观经济概况
3.1.2 工业运行情况
3.1.3 固定资产投资
3.1.4 宏观经济展望
3.2 政策环境
3.2.1 行业主管部门
3.2.2 政策发展历程
3.2.3 行业相关政策
3.2.4 行业支持政策
3.2.5 行业标准汇总
3.2.6 细分品类标准
3.2.7 区域政策动态
3.2.8 政策发展规划
3.3 行业环境
3.3.1 工业气体基本概述
3.3.2 工业气体发展特点
3.3.3 工业气体市场规模
3.3.4 工业气体区域竞争
3.3.5 工业气体竞争梯队
3.3.6 工业气体对外贸易
3.3.7 工业气体产品布局
3.3.8 工业气体发展趋势
第四章 2021-2023年中国电子特气行业运行状况
4.1 中国电子特气行业产业链分析
4.1.1 产业链条分析
4.1.2 上游供应情况
4.1.3 下游应用结构
4.1.4 产业链企业布局
4.2 2021-2023年中国电子特气市场发展状况
4.2.1 行业发展历程
4.2.2 市场发展地位
4.2.3 市场发展态势
4.2.4 市场发展规模
4.2.5 市场供应模式
4.2.6 波特五力模型
4.3 2021-2023年中国电子特气企业竞争情况
4.3.1 企业竞争优势
4.3.2 企业竞争格局
4.3.3 主要企业介绍
4.3.4 企业产品布局
4.3.5 企业营收情况
4.3.6 企业产品应用
4.3.7 企业研发投入
4.3.8 企业区域布局
4.4 中国电子特气行业技术发展状况分析
4.4.1 电子特气行业技术发展需求
4.4.2 电子特气行业技术发展意义
4.4.3 典型电子特气企业研发成果
4.4.4 高纯含氟电子气体国产化成功
4.4.5 高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
4.5 中国电子特气行业发展问题及建议
4.5.1 行业起步较晚
4.5.2 行业竞争加剧
4.5.3 国际贸易摩擦
4.5.4 气体供应紧缺
4.5.5 行业发展建议
第五章 2021-2023年中国电子特气细分市场发展分析
5.1 清洗、蚀刻工艺特气
5.1.1 三氟化氮（NF3）
5.1.2 四氟化碳（CF4）
5.1.3 六氟化硫（SF6）
5.1.4 六氟乙烷（C2F6）
5.1.5 八氟丙烷（C3F8）
5.1.6 八氟环丁烷（C4F8）
5.2 氧化/沉积工艺特气
5.2.1 六氟化钨（WF6）
5.2.2 氧化亚氮（N2O）
5.2.3 氨气（NH3）
5.2.4 硅烷（SiH4）
5.2.5 锗烷（GeH4）
5.3 氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
5.3.1 磷烷（PH3）
5.3.2 砷烷（AsH3）
5.3.3 乙硼烷（B2H6）
5.4 其他电子特气
5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2 羰基硫（COS）
5.4.3 三氟化硼（BF3）
5.4.4 硒化氢（SeH2）
第六章 2021-2023年中国电子特气行业下游应用领域分析
6.1 半导体行业
6.1.1 半导体行业发展综述
6.1.2 半导体材料国产化
6.1.3 电子特气制程介绍
6.1.4 电子特气应用情况
6.1.5 电子特气应用规模
6.1.6 电子特气应用需求
6.1.7 电子特气应用前景
6.2 LED行业
6.2.1 LED行业发展综述
6.2.2 电子特气应用情况
6.2.3 电子特气应用前景
6.3 LCD行业
6.3.1 LCD行业发展综述
6.3.2 电子特气制程介绍
6.3.3 电子特气应用现状
6.3.4 电子特气具体应用
6.3.5 电子特气应用前景
6.4 太阳能电池行业
6.4.1 太阳能电池发展概述
6.4.2 电子特气制程介绍
6.4.3 电子特气应用情况
6.4.4 电子特气应用前景
第七章 2021-2023年国外电子特气行业重点企业经营情况
7.1 美国空气化工产品
7.1.1 企业发展概况
7.1.2 企业业务介绍
7.1.3 企业产品布局
7.1.4 企业经营状况
7.1.5 企业技术创新
7.2 林德集团
7.2.1 企业发展历程
7.2.2 企业业务介绍
7.2.3 企业经营状况
7.2.4 电子气体营收
7.2.5 企业技术创新
7.3 法国液空集团
7.3.1 企业发展历程
7.3.2 企业业务介绍
7.3.3 企业经营状况
7.3.4 电子特气营收
7.3.5 工业网路组织
7.3.6 企业发展战略
7.4 日本酸素公司
7.4.1 企业发展概况
7.4.2 企业经营状况
7.4.3 企业功能扩展
7.4.4 企业基础技术
7.4.5 企业布局动态
7.4.6 企业发展前景
7.5 日本昭和电工株式会社
7.5.1 企业发展概况
7.5.2 企业业务介绍
7.5.3 企业产品布局
7.5.4 企业经营状况
7.5.5 企业发展动态
7.6 其他企业
7.6.1 大阳日酸
7.6.2 关东电化
7.6.3 艾迪科
第八章 2020-2023年中国电子特气行业重点企业经营情况
8.1 广东华特气体股份有限公司
8.1.1 企业发展概况
8.1.2 企业发展历程
8.1.3 企业经营现状
8.1.4 特气营收情况
8.1.5 企业业务模式
8.1.6 企业业务布局
8.1.7 企业技术发展
8.1.8 企业项目布局
8.2 苏州金宏气体股份有限公司
8.2.1 企业发展概况
8.2.2 企业发展历程
8.2.3 企业工艺介绍
8.2.4 企业经营现状
8.2.5 特气营收情况
8.2.6 企业产能规模
8.2.7 企业产品布局
8.2.8 企业技术发展
8.2.9 企业在研项目
8.2.10 企业收购动态
8.3 江苏雅克科技股份有限公司
8.3.1 企业发展概况
8.3.2 企业发展历程
8.3.3 企业经营现状
8.3.4 企业产品布局
8.3.5 电子特气营收
8.3.6 企业项目动态
8.4 江苏南大光电材料股份有限公司
8.4.1 企业发展概况
8.4.2 企业发展历程
8.4.3 企业经营现状
8.4.4 特气营收情况
8.4.5 特气布局分析
8.4.6 企业产品布局
8.4.7 企业研发投入
8.5 昊华化工科技集团股份有限公司
8.5.1 企业发展概况
8.5.2 企业发展历程
8.5.3 企业经营现状
8.5.4 特气营收情况
8.5.5 企业产能规模
8.5.6 企业产品布局
8.5.7 企业研发投入
8.5.8 企业项目动态
8.6 湖南凯美特气体股份有限公司
8.6.1 企业发展概况
8.6.2 企业发展历程
8.6.3 企业竞争优势
8.6.4 企业经营现状
8.6.5 气体营收分布
8.6.6 电子特气销售
8.6.7 企业产品布局
8.6.8 企业研发投入
8.6.9 企业项目动态
8.7 湖北和远气体股份有限公司
8.7.1 企业发展概况
8.7.2 企业经营现状
8.7.3 电子特气营收
8.7.4 电子特气供应
8.7.5 企业研发投入
8.7.6 企业项目动态
8.8 其他企业
8.8.1 杭氧股份
8.8.2 巨化股份
8.8.3 正帆科技
8.8.4 派瑞特气
8.8.5 博纯材料
8.8.6 绿菱公司
8.8.7 硅烷科技
8.8.8 同辉气体
8.8.9 太和气体
第九章 2021-2023年中国电子特气行业投资分析
9.1 2021-2023年中国电子特气行业投融资状况
9.1.1 企业投资规模
9.1.2 行业融资现状
9.1.3 企业融资动态
9.1.4 企业战略合作
9.1.5 项目投资进展
9.2 中国电子特气行业投资进入壁垒
9.2.1 技术壁垒
9.2.2 客户壁垒
9.2.3 服务壁垒
9.2.4 资金壁垒
9.2.5 资质壁垒
9.3 中国电子特气行业投资风险及策略
9.3.1 行业投资风险
9.3.2 行业投资策略
9.3.3 项目投资方向
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
10.1 宜章凯美特特种气体项目
10.1.1 项目基本情况
10.1.2 项目投资价值
10.1.3 项目投资概算
10.1.4 项目经济效益
10.1.5 项目备案情况
10.2 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目
10.2.1 项目基本情况
10.2.2 项目投资价值
10.2.3 项目建设周期
10.2.4 项目投资概算
10.2.5 产能消化空间
10.2.6 项目经济效益
10.2.7 项目备案进展
10.3 正帆科技气体扩产项目
10.3.1 项目基本情况
10.3.2 项目投资可行性
10.3.3 项目建设主体
10.3.4 项目建设周期
10.3.5 项目投资概算
10.3.6 项目环保措施
10.4 派瑞特气三氟化氮项目
10.4.1 项目基本情况
10.4.2 项目投资价值
10.4.3 项目投资概况
10.4.4 项目建设进度
10.4.5 项目经济效益
10.5 派瑞特气高纯电子气体项目
10.5.1 项目基本情况
10.5.2 项目投资价值
10.5.3 项目投资概算
10.5.4 项目建设进度
10.5.5 项目经济效益
第十一章 2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
11.1 中国电子特气行业未来发展趋势
11.1.1 行业发展机遇
11.1.2 行业发展趋势
11.1.3 国产替代趋势
11.2 2023-2028年中国电子特气行业预测分析
11.2.1 2023-2028年中国电子特气行业影响因素分析
11.2.2 2023-2028年中国电子特气市场规模预测
图表目录
图表 电子特种气体分类
图表 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表 三种分离方法比较
图表 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀机中辉光放电原理
图表 离子注入工艺流程
图表 离子注入机之磁分析器结构简图
图表 离子注入机设备结构简图
图表 电子气体纯度要求
图表 气体纯化工艺流程图
图表 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表 空气分离工艺流程图资
图表 气体充装工艺流程图
图表 气体混配工艺流程图
图表 气体检验工艺流程图
图表 气瓶处理工艺流程图
图表 2021、2025年全球电子气体市场规模
图表 2021年全球电子特种气体行业市场竞争格局
图表 全球工业气体知名企业
图表 2022年全球四大气体公司营业收入
图表 海外电子气体产业链
图表 全球电子特气行业市场应用结构
图表 海外电子特气厂商产品技术情况
图表 工业气体龙头的发展路径
图表 林德集团的收购事件
图表 空气化工的技术、产品和市场
图表 2018-2022年国内生产总值及其增长速度
图表 2018-2022年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2018-2022年全部工业增加值及其增长速度
图表 2022年主要工业产品产量及其增长速度
图表 2023年全国规模以上工业增加值同比增长速度
图表 2023年全国规模以上工业生产主要数据
图表 2021年全国三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2021年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2021年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 2022年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2022年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2022年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 2023年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2023年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2023年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 电子特气行业主管部门
图表 电子特气相关政策演变
图表 2016-2023年电子特气行业的相关国家政策
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细（续）
图表 2020-2022年电子特种气体国家标准
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表 现行有效其他含氟气体标准
图表 2022年地方层面电子特气行业政策
图表 工业气体的用途
图表 中国工业气体行业的周期性和区域性
图表 2017-2022年中国工业气体市场规模
图表 截止2022年中国工业气体行业企业主要区域分布top10
图表 截止2022年中国工业气体行业主要企业区域分布占比
图表 中国工业气体市场竞争格局
图表 2022年中国工业气体市场份额占比
图表 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表 2022年我国主要工业气体进口来源地进口额
图表 2022年我国主要工业气体出口目的地出口额
图表 2022年中国气体行业知名品牌
图表 电子特气产业链
图表 电子气体行业上游原材料和设备情况
图表 2022年中国电子特气下游应用占比
图表 电子特气行业产业链企业图谱
图表 国内外电子特气行业发展历程时间轴
图表 电子特气是气体行业的重要分支
图表 2017-2022年中国特种气体细分市场规模
图表 电子气体行业供气经营业务模式特点
图表 电子气体行业供应模式与要点
图表 TGCM一站式服务模式
图表 电子气体行业五力模型
图表 林德集团在我国工厂分布较为分散
图表 林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表 2022年我国电子特气市场份额占比
图表 国内电子特气公司已实现进口替代并规模化供应的产品
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体收入占总营收的比例
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体收入情况
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体业务的毛利率情况
图表 2018-2022年主要气体公司电子特气产品种类及半导体领域应用
图表 电子特气行业公司主要核心技术
图表 2018-2022年主要气体公司研发费用情况
图表 截至2022年末主要气体公司发明专利数量
图表 截至2022年末主要气体公司研发人员数量
图表 截至2022年末主要气体公司研发人员占比
图表 电子特气的供气模式以零售供气为主
图表 国内气体企业加速扩展地域布局
图表 国内气体企业在研电子特气项目充足、多项技术可实现进口替代
图表 国内电子气体企业与国外的主要差距
图表 大宗气体生产与国际差距主要表现在提纯净化
图表 特种气体生产技术不过关，总体供应呈短缺状态
图表 包装、检测及处理等共性技术方面普遍存在短板
图表 2022年氖、氪价格走势
图表 2022年氙气价格走势
图表 三氟化氮理化性质分析
图表 2015-2022年中国三氟化氮行业产量
图表 三氟化氮主要应用领域
图表 2022年三氟化氮在不同领域的应用占比
图表 2022年我国部分企业三氟化氮产能统计
图表 四氟化碳应用领域
图表 四氟化碳用途占比情况
图表 国内四氟化碳产能
图表 六氟化硫应用领域
图表 国内六氟化硫产能
图表 六氟乙烷主要公司产能
图表 八氟丙烷主要公司产能
图表 八氟环丁烷主要公司产能
图表 全球六氟化钨市场消费量
图表 六氟化钨主要公司产能
图表 氧化亚氮主要公司产能
图表 高纯氨气主要公司产能
图表 硅烷主要公司产能
图表 锗烷主要公司产能
图表 磷烷主要公司产能
图表 砷烷主要公司产能
图表 乙硼烷主要公司产能
图表 六氟丁二烯主要公司产能
图表 羰基硫主要公司产能
图表 三氟化硼主要公司产能
图表 硒化氢主要公司产能
图表 半导体材料国产化情况
图表 集成电路制造工艺流程
图表 电子特气在半导体中应用
图表 2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表 2009-2022年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表 红光Micro LED技术突破汇总表
图表 全彩化Micro LED技术突破汇总表
图表 2022年重大LED项目汇总表
图表 2022年LED行业战略合作案例
图表 2017-2022年中国LED照明行业市场规模情况
图表 2017-2022年中国LED照明产品渗透率变化情况
图表 LED生产流程
图表 LED生产外延片制造和芯片制程
图表 全球面板产业发展简史
图表 中国面板产业发展历程
图表 2010-2022年全球LCD面板产能面积变化情况
图表 TFT-LCD制造流程
图表 TFT干刻气体选择
图表 显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表 太阳能电池分类
图表 太阳能电池行业产业链示意图
图表 2015-2022年中国太阳能电池产量及增速
图表 2022年中国太阳能电池产量排行TOP10地区
图表 太阳能电池制程介绍
图表 空气化工发展历程
图表 空气化工电子领域业务概况
图表 美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表 2020-2021财年空气化工公司综合收益表
图表 2020-2021财年空气化工公司收入分地区资料
图表 2021-2022财年空气化工公司综合收益表
图表 2021-2022财年空气化工公司收入分地区资料
图表 2022-2023财年空气化工公司综合收益表
图表 2022-2023财年空气化工公司收入分地区资料
图表 空气化工创新性技术
图表 林德集团发展历程
图表 林德集团电子领域产品概况
图表 2020-2021年林德集团综合收益表
图表 2020-2021年林德集团分部资料
图表 2021-2022年林德集团综合收益表
图表 2021-2022年林德集团分部资料
图表 2022年林德集团业务占比情况
图表 2022-2023年林德集团综合收益表
图表 2022-2023年林德集团分部资料
图表 林德集团四大突破性技术
图表 液化空气发展历程
图表 液化空气电子领域业务概况
图表 2020-2021年法国液化空气集团综合收益表
图表 2020-2021年法国液化空气集团分部资料
图表 2021-2022年法国液化空气集团综合收益表
图表 2021-2022年法国液化空气集团分部资料
图表 2022年法国液化空气集团分业务构成
图表 2022-2023年法国液化空气集团综合收益表
图表 2022-2023年法国液化空气集团分部资料
图表 液化空气高效的工业网络组织
图表 液化空气四大战略支柱
图表 日本酸素业务概况
图表 日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表 2020-2021财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2020-2021财年日本酸素控股集团分部资料
图表 2021-2022财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2021-2022财年日本酸素控股集团分部资料
图表 2022-2023财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2022-2023财年日本酸素控股集团分部资料
图表 日本酸素扩展五大功能
图表 日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表 昭和电工业务概况
图表 昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表 2020-2021年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 2021-2022年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 2022-2023年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 日本大阳日酸发展历史
图表 日本大阳日酸气体种类及应用领域
图表 关东化工气体种类及应用领域
图表 艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表 华特气体发展历程
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2022年广东华特气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表 2022年广东华特气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表 2022-2023年广东华特气体股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年华特气体业务构成图
图表 2019-2022年华特气体各业务收入同比增长率
图表 华特气体业务模式及主要客户
图表 华特气体产品情况
图表 华特气体核心技术及优势
图表 2018-2022年华特气体研发费用及研发费用占比
图表 公司主要特气产能及募投产能情况
图表 金宏气体历史沿革
图表 金宏气体七大工艺
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表 2022年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表 2022年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表 2022-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年金宏气体分业务占比
图表 金宏气体特气产能及规划
图表 金宏气体主要气体产品
图表 金宏气体部分主要产品的国内市场份额
图表 金宏气体主要专利技术
图表 金宏气体部分在研气体项目
图表 金宏气体部分在研气体项目（续）
图表 金宏气体收购企业一览
图表 雅克科技发展历程
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表 雅克科技产品构成
图表 雅克电子特气解析
图表 2022年雅克科技营收分布（按产品）
图表 雅克科技主要产品产能情况
图表 南大光电主营业务
图表 南大光电历史沿革
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年江苏南大光电材料股份有限公司主营业务分产品或服务
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表 2022年南大光电业务构成图
图表 2017-2022年南大光电各业务收入同比增长率
图表 南大光电特气产能情况
图表 南大光电主要气体产品
图表 2018-2022年南大光电研发费用及研发费用占比图
图表 2017-2022年南大光电人均创收和人均创利
图表 昊华科技主要产品分布
图表 昊华科技发展历程
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表 2022年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分行业、产品、地区
图表 2022年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分销售模式
图表 2022-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表 2022年昊华科技营收分布
图表 昊华科技特气产能扩张规划
图表 昊华科技气体产品线
图表 昊华科技气体扩产
图表 2018-2022年昊华科技研发趋势
图表 凯美特气历史沿革
图表 凯美特气电子特气项目建设规划
图表 凯美特气电子特气产品认证情况
图表 2021-2022年凯美特气披露的电子特气销售订单
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2018-2022年凯美特气分产品营收占比
图表 2018-2022年凯美特气分产品毛利占比
图表 2021-2022年凯美特气电子特气销售情况
图表 凯美特气子公司及产品布局
图表 2018-2022凯美特气研发费用及占比
图表 2017-2022凯美特气人均创收及人均创利
图表 凯美特气募投项目
图表 和远气体历史沿革
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年和远气体业务结构
图表 2017-2022年和远气体各业务收入同比增长率
图表 和远气体产品与供应布局
图表 2017-2022年和远气体研发费用及研发费用占比
图表 2017-2022年和远气体人均创收和人均创利
图表 和远气体电子特气主要投资项目
图表 杭氧股份产品线
图表 杭氧股份6大供气模式
图表 2010-2022年杭氧股份各业务营业收入
图表 2010-2022年杭氧股份各业务收入占比
图表 巨化股份产品线
图表 巨化股份电子级气体
图表 2022年正帆科技业务构成
图表 2017-2022年正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率
图表 正帆科技电子气体主要产品
图表 派瑞特气发展阶段
图表 博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表 绿菱公司历史沿革
图表 绿菱公司产线及纯度
图表 硅烷科技发展历程
图表 同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表 太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表 国产电子特气供应商募资扩产计划
图表 国产电子特气供应商现有产能及预计新增产能情况
图表 2021-2022年电子特气行业IPO与再融资
图表 国内电子特气主要厂商产能情况及项目进展
图表 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目建设周期
图表 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目投资概算
图表 正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表 正帆科技气体扩产项目投资明细
图表 派瑞特气三氟化氮项目投资概算
图表 派瑞特气三氟化氮项目建设进度计划
图表 派瑞特气高纯电子气体项目投资概算
图表 派瑞特气高纯电子气体项目建设进度计划
图表 2023-2028年中国电子特气市场规模预测
1.1 电子特气相关界定
1.1.1 电子特气的含义
1.1.2 电子特气的分类
1.1.3 电子特气的纯度
1.2 电子特气工艺分类
1.2.1 化学气相沉积工艺
1.2.2 光刻工艺
1.2.3 刻蚀工艺
1.2.4 掺杂工艺
1.3 电子特气工艺流程
1.3.1 气体纯化
1.3.2 气体合成
1.3.3 空气分离
1.3.4 气体充装
1.3.5 气体混配
1.3.6 气体检测
1.3.7 气瓶处理
第二章 2021-2023年全球电子特气行业发展综况
2.1 2021-2023年全球电子特气发展现状
2.1.1 市场发展现状
2.1.2 市场发展规模
2.1.3 市场份额分布
2.1.4 企业竞争格局
2.1.5 企业营收情况
2.1.6 产业链条布局
2.1.7 应用领域分布
2.1.8 产品技术分析
2.2 2021-2023年美国电子特气发展分析
2.2.1 市场相关政策
2.2.2 市场主体介绍
2.2.3 企业布局动态
2.2.4 市场发展困境
2.3 2021-2023年日本电子特气发展分析
2.3.1 市场发展现状
2.3.2 市场供求分析
2.3.3 市场主体介绍
2.3.4 企业营收情况
2.3.5 企业布局动态
2.3.6 出口管制施行
2.4 全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
2.4.1 设备制造+气体服务齐头并进
2.4.2 通过收购快速开拓国际市场
2.4.3 通过技术创新丰富产品结构
第三章 2021-2023年中国电子特气行业发展环境
3.1 经济环境
3.1.1 宏观经济概况
3.1.2 工业运行情况
3.1.3 固定资产投资
3.1.4 宏观经济展望
3.2 政策环境
3.2.1 行业主管部门
3.2.2 政策发展历程
3.2.3 行业相关政策
3.2.4 行业支持政策
3.2.5 行业标准汇总
3.2.6 细分品类标准
3.2.7 区域政策动态
3.2.8 政策发展规划
3.3 行业环境
3.3.1 工业气体基本概述
3.3.2 工业气体发展特点
3.3.3 工业气体市场规模
3.3.4 工业气体区域竞争
3.3.5 工业气体竞争梯队
3.3.6 工业气体对外贸易
3.3.7 工业气体产品布局
3.3.8 工业气体发展趋势
第四章 2021-2023年中国电子特气行业运行状况
4.1 中国电子特气行业产业链分析
4.1.1 产业链条分析
4.1.2 上游供应情况
4.1.3 下游应用结构
4.1.4 产业链企业布局
4.2 2021-2023年中国电子特气市场发展状况
4.2.1 行业发展历程
4.2.2 市场发展地位
4.2.3 市场发展态势
4.2.4 市场发展规模
4.2.5 市场供应模式
4.2.6 波特五力模型
4.3 2021-2023年中国电子特气企业竞争情况
4.3.1 企业竞争优势
4.3.2 企业竞争格局
4.3.3 主要企业介绍
4.3.4 企业产品布局
4.3.5 企业营收情况
4.3.6 企业产品应用
4.3.7 企业研发投入
4.3.8 企业区域布局
4.4 中国电子特气行业技术发展状况分析
4.4.1 电子特气行业技术发展需求
4.4.2 电子特气行业技术发展意义
4.4.3 典型电子特气企业研发成果
4.4.4 高纯含氟电子气体国产化成功
4.4.5 高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
4.5 中国电子特气行业发展问题及建议
4.5.1 行业起步较晚
4.5.2 行业竞争加剧
4.5.3 国际贸易摩擦
4.5.4 气体供应紧缺
4.5.5 行业发展建议
第五章 2021-2023年中国电子特气细分市场发展分析
5.1 清洗、蚀刻工艺特气
5.1.1 三氟化氮（NF3）
5.1.2 四氟化碳（CF4）
5.1.3 六氟化硫（SF6）
5.1.4 六氟乙烷（C2F6）
5.1.5 八氟丙烷（C3F8）
5.1.6 八氟环丁烷（C4F8）
5.2 氧化/沉积工艺特气
5.2.1 六氟化钨（WF6）
5.2.2 氧化亚氮（N2O）
5.2.3 氨气（NH3）
5.2.4 硅烷（SiH4）
5.2.5 锗烷（GeH4）
5.3 氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
5.3.1 磷烷（PH3）
5.3.2 砷烷（AsH3）
5.3.3 乙硼烷（B2H6）
5.4 其他电子特气
5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2 羰基硫（COS）
5.4.3 三氟化硼（BF3）
5.4.4 硒化氢（SeH2）
第六章 2021-2023年中国电子特气行业下游应用领域分析
6.1 半导体行业
6.1.1 半导体行业发展综述
6.1.2 半导体材料国产化
6.1.3 电子特气制程介绍
6.1.4 电子特气应用情况
6.1.5 电子特气应用规模
6.1.6 电子特气应用需求
6.1.7 电子特气应用前景
6.2 LED行业
6.2.1 LED行业发展综述
6.2.2 电子特气应用情况
6.2.3 电子特气应用前景
6.3 LCD行业
6.3.1 LCD行业发展综述
6.3.2 电子特气制程介绍
6.3.3 电子特气应用现状
6.3.4 电子特气具体应用
6.3.5 电子特气应用前景
6.4 太阳能电池行业
6.4.1 太阳能电池发展概述
6.4.2 电子特气制程介绍
6.4.3 电子特气应用情况
6.4.4 电子特气应用前景
第七章 2021-2023年国外电子特气行业重点企业经营情况
7.1 美国空气化工产品
7.1.1 企业发展概况
7.1.2 企业业务介绍
7.1.3 企业产品布局
7.1.4 企业经营状况
7.1.5 企业技术创新
7.2 林德集团
7.2.1 企业发展历程
7.2.2 企业业务介绍
7.2.3 企业经营状况
7.2.4 电子气体营收
7.2.5 企业技术创新
7.3 法国液空集团
7.3.1 企业发展历程
7.3.2 企业业务介绍
7.3.3 企业经营状况
7.3.4 电子特气营收
7.3.5 工业网路组织
7.3.6 企业发展战略
7.4 日本酸素公司
7.4.1 企业发展概况
7.4.2 企业经营状况
7.4.3 企业功能扩展
7.4.4 企业基础技术
7.4.5 企业布局动态
7.4.6 企业发展前景
7.5 日本昭和电工株式会社
7.5.1 企业发展概况
7.5.2 企业业务介绍
7.5.3 企业产品布局
7.5.4 企业经营状况
7.5.5 企业发展动态
7.6 其他企业
7.6.1 大阳日酸
7.6.2 关东电化
7.6.3 艾迪科
第八章 2020-2023年中国电子特气行业重点企业经营情况
8.1 广东华特气体股份有限公司
8.1.1 企业发展概况
8.1.2 企业发展历程
8.1.3 企业经营现状
8.1.4 特气营收情况
8.1.5 企业业务模式
8.1.6 企业业务布局
8.1.7 企业技术发展
8.1.8 企业项目布局
8.2 苏州金宏气体股份有限公司
8.2.1 企业发展概况
8.2.2 企业发展历程
8.2.3 企业工艺介绍
8.2.4 企业经营现状
8.2.5 特气营收情况
8.2.6 企业产能规模
8.2.7 企业产品布局
8.2.8 企业技术发展
8.2.9 企业在研项目
8.2.10 企业收购动态
8.3 江苏雅克科技股份有限公司
8.3.1 企业发展概况
8.3.2 企业发展历程
8.3.3 企业经营现状
8.3.4 企业产品布局
8.3.5 电子特气营收
8.3.6 企业项目动态
8.4 江苏南大光电材料股份有限公司
8.4.1 企业发展概况
8.4.2 企业发展历程
8.4.3 企业经营现状
8.4.4 特气营收情况
8.4.5 特气布局分析
8.4.6 企业产品布局
8.4.7 企业研发投入
8.5 昊华化工科技集团股份有限公司
8.5.1 企业发展概况
8.5.2 企业发展历程
8.5.3 企业经营现状
8.5.4 特气营收情况
8.5.5 企业产能规模
8.5.6 企业产品布局
8.5.7 企业研发投入
8.5.8 企业项目动态
8.6 湖南凯美特气体股份有限公司
8.6.1 企业发展概况
8.6.2 企业发展历程
8.6.3 企业竞争优势
8.6.4 企业经营现状
8.6.5 气体营收分布
8.6.6 电子特气销售
8.6.7 企业产品布局
8.6.8 企业研发投入
8.6.9 企业项目动态
8.7 湖北和远气体股份有限公司
8.7.1 企业发展概况
8.7.2 企业经营现状
8.7.3 电子特气营收
8.7.4 电子特气供应
8.7.5 企业研发投入
8.7.6 企业项目动态
8.8 其他企业
8.8.1 杭氧股份
8.8.2 巨化股份
8.8.3 正帆科技
8.8.4 派瑞特气
8.8.5 博纯材料
8.8.6 绿菱公司
8.8.7 硅烷科技
8.8.8 同辉气体
8.8.9 太和气体
第九章 2021-2023年中国电子特气行业投资分析
9.1 2021-2023年中国电子特气行业投融资状况
9.1.1 企业投资规模
9.1.2 行业融资现状
9.1.3 企业融资动态
9.1.4 企业战略合作
9.1.5 项目投资进展
9.2 中国电子特气行业投资进入壁垒
9.2.1 技术壁垒
9.2.2 客户壁垒
9.2.3 服务壁垒
9.2.4 资金壁垒
9.2.5 资质壁垒
9.3 中国电子特气行业投资风险及策略
9.3.1 行业投资风险
9.3.2 行业投资策略
9.3.3 项目投资方向
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
10.1 宜章凯美特特种气体项目
10.1.1 项目基本情况
10.1.2 项目投资价值
10.1.3 项目投资概算
10.1.4 项目经济效益
10.1.5 项目备案情况
10.2 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目
10.2.1 项目基本情况
10.2.2 项目投资价值
10.2.3 项目建设周期
10.2.4 项目投资概算
10.2.5 产能消化空间
10.2.6 项目经济效益
10.2.7 项目备案进展
10.3 正帆科技气体扩产项目
10.3.1 项目基本情况
10.3.2 项目投资可行性
10.3.3 项目建设主体
10.3.4 项目建设周期
10.3.5 项目投资概算
10.3.6 项目环保措施
10.4 派瑞特气三氟化氮项目
10.4.1 项目基本情况
10.4.2 项目投资价值
10.4.3 项目投资概况
10.4.4 项目建设进度
10.4.5 项目经济效益
10.5 派瑞特气高纯电子气体项目
10.5.1 项目基本情况
10.5.2 项目投资价值
10.5.3 项目投资概算
10.5.4 项目建设进度
10.5.5 项目经济效益
第十一章 2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
11.1 中国电子特气行业未来发展趋势
11.1.1 行业发展机遇
11.1.2 行业发展趋势
11.1.3 国产替代趋势
11.2 2023-2028年中国电子特气行业预测分析
11.2.1 2023-2028年中国电子特气行业影响因素分析
11.2.2 2023-2028年中国电子特气市场规模预测
图表目录
图表 电子特种气体分类
图表 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表 三种分离方法比较
图表 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表 刻蚀机中辉光放电原理
图表 离子注入工艺流程
图表 离子注入机之磁分析器结构简图
图表 离子注入机设备结构简图
图表 电子气体纯度要求
图表 气体纯化工艺流程图
图表 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表 空气分离工艺流程图资
图表 气体充装工艺流程图
图表 气体混配工艺流程图
图表 气体检验工艺流程图
图表 气瓶处理工艺流程图
图表 2021、2025年全球电子气体市场规模
图表 2021年全球电子特种气体行业市场竞争格局
图表 全球工业气体知名企业
图表 2022年全球四大气体公司营业收入
图表 海外电子气体产业链
图表 全球电子特气行业市场应用结构
图表 海外电子特气厂商产品技术情况
图表 工业气体龙头的发展路径
图表 林德集团的收购事件
图表 空气化工的技术、产品和市场
图表 2018-2022年国内生产总值及其增长速度
图表 2018-2022年三次产业增加值占国内生产总值比重
图表 2018-2022年全部工业增加值及其增长速度
图表 2022年主要工业产品产量及其增长速度
图表 2023年全国规模以上工业增加值同比增长速度
图表 2023年全国规模以上工业生产主要数据
图表 2021年全国三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2021年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2021年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 2022年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2022年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2022年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 2023年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重
图表 2023年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度
图表 2023年固定资产投资新增主要生产与运营能力
图表 电子特气行业主管部门
图表 电子特气相关政策演变
图表 2016-2023年电子特气行业的相关国家政策
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细
图表 《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》-特种气体入选目录明细（续）
图表 2020-2022年电子特种气体国家标准
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）
图表 现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）
图表 现行有效其他含氟气体标准
图表 2022年地方层面电子特气行业政策
图表 工业气体的用途
图表 中国工业气体行业的周期性和区域性
图表 2017-2022年中国工业气体市场规模
图表 截止2022年中国工业气体行业企业主要区域分布top10
图表 截止2022年中国工业气体行业主要企业区域分布占比
图表 中国工业气体市场竞争格局
图表 2022年中国工业气体市场份额占比
图表 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表 2015-2022年我国主要工业气体进出口数量
图表 2022年我国主要工业气体进口来源地进口额
图表 2022年我国主要工业气体出口目的地出口额
图表 2022年中国气体行业知名品牌
图表 电子特气产业链
图表 电子气体行业上游原材料和设备情况
图表 2022年中国电子特气下游应用占比
图表 电子特气行业产业链企业图谱
图表 国内外电子特气行业发展历程时间轴
图表 电子特气是气体行业的重要分支
图表 2017-2022年中国特种气体细分市场规模
图表 电子气体行业供气经营业务模式特点
图表 电子气体行业供应模式与要点
图表 TGCM一站式服务模式
图表 电子气体行业五力模型
图表 林德集团在我国工厂分布较为分散
图表 林德集团向我国供应原材料耗时较长
图表 2022年我国电子特气市场份额占比
图表 国内电子特气公司已实现进口替代并规模化供应的产品
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体收入占总营收的比例
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体收入情况
图表 2018-2022年主要气体公司特种气体业务的毛利率情况
图表 2018-2022年主要气体公司电子特气产品种类及半导体领域应用
图表 电子特气行业公司主要核心技术
图表 2018-2022年主要气体公司研发费用情况
图表 截至2022年末主要气体公司发明专利数量
图表 截至2022年末主要气体公司研发人员数量
图表 截至2022年末主要气体公司研发人员占比
图表 电子特气的供气模式以零售供气为主
图表 国内气体企业加速扩展地域布局
图表 国内气体企业在研电子特气项目充足、多项技术可实现进口替代
图表 国内电子气体企业与国外的主要差距
图表 大宗气体生产与国际差距主要表现在提纯净化
图表 特种气体生产技术不过关，总体供应呈短缺状态
图表 包装、检测及处理等共性技术方面普遍存在短板
图表 2022年氖、氪价格走势
图表 2022年氙气价格走势
图表 三氟化氮理化性质分析
图表 2015-2022年中国三氟化氮行业产量
图表 三氟化氮主要应用领域
图表 2022年三氟化氮在不同领域的应用占比
图表 2022年我国部分企业三氟化氮产能统计
图表 四氟化碳应用领域
图表 四氟化碳用途占比情况
图表 国内四氟化碳产能
图表 六氟化硫应用领域
图表 国内六氟化硫产能
图表 六氟乙烷主要公司产能
图表 八氟丙烷主要公司产能
图表 八氟环丁烷主要公司产能
图表 全球六氟化钨市场消费量
图表 六氟化钨主要公司产能
图表 氧化亚氮主要公司产能
图表 高纯氨气主要公司产能
图表 硅烷主要公司产能
图表 锗烷主要公司产能
图表 磷烷主要公司产能
图表 砷烷主要公司产能
图表 乙硼烷主要公司产能
图表 六氟丁二烯主要公司产能
图表 羰基硫主要公司产能
图表 三氟化硼主要公司产能
图表 硒化氢主要公司产能
图表 半导体材料国产化情况
图表 集成电路制造工艺流程
图表 电子特气在半导体中应用
图表 2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模
图表 2009-2022年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量
图表 半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）
图表 红光Micro LED技术突破汇总表
图表 全彩化Micro LED技术突破汇总表
图表 2022年重大LED项目汇总表
图表 2022年LED行业战略合作案例
图表 2017-2022年中国LED照明行业市场规模情况
图表 2017-2022年中国LED照明产品渗透率变化情况
图表 LED生产流程
图表 LED生产外延片制造和芯片制程
图表 全球面板产业发展简史
图表 中国面板产业发展历程
图表 2010-2022年全球LCD面板产能面积变化情况
图表 TFT-LCD制造流程
图表 TFT干刻气体选择
图表 显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求
图表 太阳能电池分类
图表 太阳能电池行业产业链示意图
图表 2015-2022年中国太阳能电池产量及增速
图表 2022年中国太阳能电池产量排行TOP10地区
图表 太阳能电池制程介绍
图表 空气化工发展历程
图表 空气化工电子领域业务概况
图表 美国空气化工产品气体种类及应用领域
图表 2020-2021财年空气化工公司综合收益表
图表 2020-2021财年空气化工公司收入分地区资料
图表 2021-2022财年空气化工公司综合收益表
图表 2021-2022财年空气化工公司收入分地区资料
图表 2022-2023财年空气化工公司综合收益表
图表 2022-2023财年空气化工公司收入分地区资料
图表 空气化工创新性技术
图表 林德集团发展历程
图表 林德集团电子领域产品概况
图表 2020-2021年林德集团综合收益表
图表 2020-2021年林德集团分部资料
图表 2021-2022年林德集团综合收益表
图表 2021-2022年林德集团分部资料
图表 2022年林德集团业务占比情况
图表 2022-2023年林德集团综合收益表
图表 2022-2023年林德集团分部资料
图表 林德集团四大突破性技术
图表 液化空气发展历程
图表 液化空气电子领域业务概况
图表 2020-2021年法国液化空气集团综合收益表
图表 2020-2021年法国液化空气集团分部资料
图表 2021-2022年法国液化空气集团综合收益表
图表 2021-2022年法国液化空气集团分部资料
图表 2022年法国液化空气集团分业务构成
图表 2022-2023年法国液化空气集团综合收益表
图表 2022-2023年法国液化空气集团分部资料
图表 液化空气高效的工业网络组织
图表 液化空气四大战略支柱
图表 日本酸素业务概况
图表 日本酸素三大业务领域和五大业务板块
图表 2020-2021财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2020-2021财年日本酸素控股集团分部资料
图表 2021-2022财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2021-2022财年日本酸素控股集团分部资料
图表 2022-2023财年日本酸素控股集团综合收益表
图表 2022-2023财年日本酸素控股集团分部资料
图表 日本酸素扩展五大功能
图表 日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程
图表 昭和电工业务概况
图表 昭和电工半导体材料种类及应用领域
图表 2020-2021年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 2021-2022年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 2022-2023年日本昭和电工株式会社综合收益表
图表 日本大阳日酸发展历史
图表 日本大阳日酸气体种类及应用领域
图表 关东化工气体种类及应用领域
图表 艾迪科半导体材料种类及应用领域
图表 华特气体发展历程
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2022年广东华特气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表 2022年广东华特气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表 2022-2023年广东华特气体股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年广东华特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年华特气体业务构成图
图表 2019-2022年华特气体各业务收入同比增长率
图表 华特气体业务模式及主要客户
图表 华特气体产品情况
图表 华特气体核心技术及优势
图表 2018-2022年华特气体研发费用及研发费用占比
图表 公司主要特气产能及募投产能情况
图表 金宏气体历史沿革
图表 金宏气体七大工艺
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司净利润及增速
图表 2022年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分行业、产品
图表 2022年苏州金宏气体股份有限公司主营业务分地区、销售模式
图表 2022-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年苏州金宏气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年金宏气体分业务占比
图表 金宏气体特气产能及规划
图表 金宏气体主要气体产品
图表 金宏气体部分主要产品的国内市场份额
图表 金宏气体主要专利技术
图表 金宏气体部分在研气体项目
图表 金宏气体部分在研气体项目（续）
图表 金宏气体收购企业一览
图表 雅克科技发展历程
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年江苏雅克科技股份有限公司运营能力指标
图表 雅克科技产品构成
图表 雅克电子特气解析
图表 2022年雅克科技营收分布（按产品）
图表 雅克科技主要产品产能情况
图表 南大光电主营业务
图表 南大光电历史沿革
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年江苏南大光电材料股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年江苏南大光电材料股份有限公司主营业务分产品或服务
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年江苏南大光电材料股份有限公司运营能力指标
图表 2022年南大光电业务构成图
图表 2017-2022年南大光电各业务收入同比增长率
图表 南大光电特气产能情况
图表 南大光电主要气体产品
图表 2018-2022年南大光电研发费用及研发费用占比图
图表 2017-2022年南大光电人均创收和人均创利
图表 昊华科技主要产品分布
图表 昊华科技发展历程
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司净利润及增速
图表 2022年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分行业、产品、地区
图表 2022年昊华化工科技集团股份有限公司主营业务分销售模式
图表 2022-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业收入情况
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年昊华化工科技集团股份有限公司运营能力指标
图表 2022年昊华科技营收分布
图表 昊华科技特气产能扩张规划
图表 昊华科技气体产品线
图表 昊华科技气体扩产
图表 2018-2022年昊华科技研发趋势
图表 凯美特气历史沿革
图表 凯美特气电子特气项目建设规划
图表 凯美特气电子特气产品认证情况
图表 2021-2022年凯美特气披露的电子特气销售订单
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年湖南凯美特气体股份有限公司运营能力指标
图表 2018-2022年凯美特气分产品营收占比
图表 2018-2022年凯美特气分产品毛利占比
图表 2021-2022年凯美特气电子特气销售情况
图表 凯美特气子公司及产品布局
图表 2018-2022凯美特气研发费用及占比
图表 2017-2022凯美特气人均创收及人均创利
图表 凯美特气募投项目
图表 和远气体历史沿革
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司总资产及净资产规模
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司营业收入及增速
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司净利润及增速
图表 2021-2022年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区、销售模式
图表 2022-2023年湖北和远气体股份有限公司营业收入分行业、产品、地区
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司营业利润及营业利润率
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司净资产收益率
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司短期偿债能力指标
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司资产负债率水平
图表 2020-2023年湖北和远气体股份有限公司运营能力指标
图表 2022年和远气体业务结构
图表 2017-2022年和远气体各业务收入同比增长率
图表 和远气体产品与供应布局
图表 2017-2022年和远气体研发费用及研发费用占比
图表 2017-2022年和远气体人均创收和人均创利
图表 和远气体电子特气主要投资项目
图表 杭氧股份产品线
图表 杭氧股份6大供气模式
图表 2010-2022年杭氧股份各业务营业收入
图表 2010-2022年杭氧股份各业务收入占比
图表 巨化股份产品线
图表 巨化股份电子级气体
图表 2022年正帆科技业务构成
图表 2017-2022年正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率
图表 正帆科技电子气体主要产品
图表 派瑞特气发展阶段
图表 博纯材料主要产品现有及拟在建产能
图表 绿菱公司历史沿革
图表 绿菱公司产线及纯度
图表 硅烷科技发展历程
图表 同辉气体主要产品现有及拟在建产能
图表 太和气体主要产品现有及拟在建产能
图表 国产电子特气供应商募资扩产计划
图表 国产电子特气供应商现有产能及预计新增产能情况
图表 2021-2022年电子特气行业IPO与再融资
图表 国内电子特气主要厂商产能情况及项目进展
图表 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目建设周期
图表 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目投资概算
图表 正帆科技气体扩产项目实施周期及投资进度
图表 正帆科技气体扩产项目投资明细
图表 派瑞特气三氟化氮项目投资概算
图表 派瑞特气三氟化氮项目建设进度计划
图表 派瑞特气高纯电子气体项目投资概算
图表 派瑞特气高纯电子气体项目建设进度计划
图表 2023-2028年中国电子特气市场规模预测
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